글로벌 액셀러레이터이자 TIPS 운영사인 젠엑시스가 반도체 In-Line SEM(주사전자현미경) 솔루션 기업 하이케이엠에 투자를 완료했다.
최근 AI 인프라와 HBM 등 고부가가치 메모리 수요 확대로 미세공정 및 3D 적층 등 제조공정의 복잡도가 높아짐에 따라, 수율 관리를 위한 고정밀 계측·검사 장비의 중요성이 커지고 있다. 특히 첨단 반도체 라인에서는 웨이퍼 전면뿐 아니라 배면과 베벨의 미세 결함을 생산공정 내에서 신속하게 확인하는 인라인(In-Line) 검사 수요가 증가하는 추세다.
하이케이엠의 주력 제품인 'BSR-1000'은 양산라인 내에서 웨이퍼 배면의 결함을 비파괴 방식으로 관찰·분석하는 장비다. 웨이퍼를 외부로 반출해 분석하던 기존 방식의 시간 지연과 샘플 손상 문제를 보완하여, 제조사가 공정 이상 여부를 신속하게 확인하고 후속 공정 진행을 효율적으로 판단할 수 있도록 돕는다.
현재 하이케이엠은 차세대 제품군인 'BSR-2000' 개발도 추진 중이다. 고분해능 컬럼, 잔류 미세진동 제어 진공 스테이지, AI 기반 SEM 이미지 분석 기술 등을 결합해 차세대 반도체 공정에 대응하는 것을 목표로 한다. 아울러 국내 연구기관 및 파트너사와의 협력을 통해 원천 기술 내재화와 장비 국산화를 추진하고 있다.
하이케이엠의 경쟁력은 경영진의 전문성에서 나온다. 양경모 대표는 국내외 반도체 제조사 및 장비사에서 35년 이상 반도체 계측 및 In-Line SEM 분야 경험을 축적해 왔다. 이를 바탕으로 글로벌 장비 시장에 대한 이해도와 고객 맞춤형 장비 개발 역량을 갖추고 있다.
젠엑시스는 이번 투자에서 하이케이엠의 전문성과 BSR 시리즈의 제품 확장성을 높게 평가했다. 젠엑시스 관계자는 “하이케이엠은 반도체 양산공정에서 발생하는 계측 문제를 깊이 이해하고 솔루션으로 구현할 수 있는 팀”이라며, “초기 시장 진입과 차세대 장비 개발을 바탕으로 첨단 반도체 공정 계측 분야에서 의미 있는 국산 장비 기업으로 성장할 가능성이 크다”고 투자 이유를 밝혔다.
하이케이엠은 향후 BSR-1000의 고객사 적용 확대와 BSR-2000 개발에 주력하는 한편, 중장기적으로는 베벨 검사 및 분광 기반 분석 솔루션 등으로 제품군을 확장하여 디스플레이와 배터리 분야로도 적용 범위를 넓혀갈 방침이다.
이미지 제공: 젠엑시스
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