교육기업 아이지는 반도체 플라즈마 공정 실습 장비를 개발하고, 공급에 나섰다. 장비는 반도체 제조 공정에서 필수적인 플라즈마 공정의 전반적인 실습을 지원해, 차세대 인재 양성에 기여할 것으로 기대된다.
플라즈마 공정은 반도체 제조에서 증착, 식각, 세정, 이온 임플란트 등 다양한 공정에 사용되며, 특히 고도로 정밀한 작업에서 중요한 역할을 한다. 플라즈마는 적은 에너지로 빠른 화학 반응을 일으키며, 다양한 입자를 통해 신속한 반응을 유도한다. 이러한 특성 덕분에 반도체 제조에서 플라즈마의 활용은 지속적으로 확대되고 있다.
아이지는 자사 실습 장비가 플라즈마 공정의 설계, 제어, 테스트 등 다양한 실습을 가능하게 한다고 밝혔다. 특히 레시피 제어, 분해 조립 등의 기능을 통해 반도체 플라즈마 공정의 실무를 직접 체험할 수 있도록 설계했다. 또한, 컨트롤 솔루션과 제어 소프트웨어를 제공하며, EtherNET 및 RS-232 통신 제어 기능도 갖췄다.
장비는 웨이퍼 표면 정리, 에칭, 증착, 표면 개질, 클리닝 등 반도체 공정에서 필수적인 기능을 포함하고 있어, 교육기관에서 학생들이 실습을 통해 다양한 공정을 체득할 수 있다.
아이지는 이번 장비를 한국반도체산업협회와 협력하여 반도체 인재 양성 과정에서 적극 활용할 예정이며, 이를 통해 현장 맞춤형 인재 양성에 기여할 것이라고 밝혔다.
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