미국 정부가 ASML의 첨단 EUV(극자외선) 노광장비가 중국에 반입됐을 가능성을 제기했다. ASML은 관련 의혹을 전면 부인하며 수출 통제 규정을 철저히 준수하고 있다고 밝혔다.
The U.S. government has raised concerns that ASML’s advanced EUV lithography systems may have reached China. ASML strongly denies the allegations, stating that it has never shipped EUV equipment or dedicated EUV components to China.
미국 상무부가 ASML의 EUV 노광장비 중국 유입 가능성에 대한 우려를 제기한 것으로 알려졌다.
블룸버그 보도에 따르면 하워드 러트닉 미국 상무장관은 여러 차례 ASML 경영진과의 회의에서 EUV 장비가 중국에 반입됐을 가능성에 대한 우려를 전달했다.
EUV 노광장비는 최첨단 반도체 제조에 필수적인 장비다. 극자외선을 이용해 미세 회로를 웨이퍼에 구현하는 기술로, 첨단 공정 반도체 생산의 핵심 설비로 꼽힌다.
미국은 오랫동안 해당 장비의 중국 수출을 제한해왔다. 실제로 ASML의 EUV 장비는 2020년부터 미국과 네덜란드 정부의 수출 통제 대상이 됐으며, 중국 고객사에 대한 수출 허가도 제한적으로 운영되고 있다.
그러나 ASML은 관련 의혹을 강하게 부인했다.
회사 측은 공식 입장을 통해 "ASML은 EUV 장비를 중국에 출하한 적이 없으며, EUV 장비 전용으로 설계된 부품이나 모듈, 장비 역시 중국에 공급한 적이 없다"고 밝혔다. 또한 EUV 장비는 생산량이 많지 않고 크기가 매우 커 추적이 쉽다고 설명했다. 정기적인 유지보수가 필수적이기 때문에 비공식 유통이나 은밀한 운용이 현실적으로 어렵다는 점도 강조했다.
ASML은 모든 수출 통제 규정을 준수하고 있으며, 규정 변경 시 이에 맞춰 대응하고 있다고 덧붙였다.
크리스토프 푸케 ASML CEO 는 관련 의혹에 대해 다음과 같이 언급했다.
"ASML은 수년간 비슷한 루머에 반복적으로 직면해 왔다"며 "회사는 모든 규정을 준수하고 있으며 지정학적으로 어려운 환경 속에서도 컴플라이언스를 최우선 과제로 삼고 있다"
업계에서는 EUV 장비 확보 여부가 중국 반도체 산업의 핵심 변수 가운데 하나로 꼽힌다고 평가한다. 현재 중국 반도체 업체들은 EUV 없이 첨단 공정을 구현하기 위해 다중 패터닝과 기존 DUV 장비 활용을 확대하고 있지만 생산 효율과 비용 측면에서 한계를 안고 있기 때문이다.
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