서플러스글로벌, ALD 공정 특허 3건 등록

서플러스글로벌

| 서울=한스경제 김종효 기자 | 서플러스글로벌은 ALD(원자층 증착) 공정과 웨이퍼 이송·로딩 기술 관련 국내 특허 3건 등록을 완료했다고 15일 밝혔다.

이번 특허는 중고 반도체 장비의 성능과 활용 가치를 높이는 장비 업사이클링 기술 역량을 강화하는 데 의미가 있다. 등록된 특허는 ALD 반응기용 실링시스템 및 실링 해제 방법, ALD 밸브 모니터링 방법 및 시스템, 웨이퍼 이송기 감지장치 및 웨이퍼 로딩 시스템 등 3건이다.

ALD 반응기용 실링시스템 및 실링 해제 방법 특허는 반응기 내부 압력을 정밀하게 제어해 공정 신뢰성을 높인다. 반응기 상부와 하부 영역 간 압력 차이를 관리해 압력 불균형을 최소화한다. 이를 통해 장비 개방, 유지보수, 재가동 과정에서 발생할 수 있는 리스크를 줄이고 기존 장비의 재사용성과 운용 신뢰성을 높일 수 있다.

ALD 밸브 모니터링 방법 및 시스템 특허는 밸브의 상태를 AI 기반으로 분석한다. 밸브의 개폐 동작, 압력, 유량 데이터를 실시간으로 분석해 이상 징후를 조기에 감지하고 향후 상태를 예측한다. 이 기술은 장비 이상을 사전에 감지해 예방정비 체계를 고도화하고, 주요 부품의 상태 관리와 장비 수명 연장을 지원한다.

웨이퍼 이송기 감지장치 및 웨이퍼 로딩 시스템 특허는 웨이퍼 이송 및 적재 과정에서 정렬 상태를 정밀하게 감지한다. 비전 센서를 활용해 웨이퍼 위치와 정렬 상태를 실시간으로 분석해 정렬 불량을 신속하게 감지한다. 정렬 불량을 조기에 확인해 장비 재가동 및 공정 적용 과정에서 생산성과 품질 안정성을 높일 수 있다.

서플러스글로벌은 중고 반도체 장비 거래, 리퍼비시, 기술 서비스 과정에서 장비 운용, 유지보수, 공정 안정화 관련 기술 역량을 축적해 왔다. 용인 반도체 장비 클러스터를 기반으로 장비 평가, 공정 검증, 기술 지원, 교육 활동을 수행하고 있다. 이번 특허는 현장 경험과 연구개발 활동의 결과물이다.

서플러스글로벌은 중고 장비를 단순히 재판매하는 데 그치지 않고, 장비의 상태를 진단하고 개선해 새로운 활용 가치를 부여하는 반도체 장비 업사이클링 기업으로 기술 포트폴리오를 확장하고 있다. ALD 공정 안정화, AI 기반 장비 진단, 웨이퍼 이송 기술은 기존 장비의 재활용 가능성을 높이고 반도체 생산 과정의 안정성과 생산성 향상에 기여할 수 있다.

서플러스글로벌은 반도체 장비·부품 거래 플랫폼 세미마켓(SemiMarket)을 운영하고 있다. 최근 AI 기반 수출통제 자동화 기술 관련 특허도 등록했다. 회사는 장비·부품 거래 데이터, 공정 기술, AI 진단 기술을 연계해 반도체 장비의 재사용, 재유통, 재가치화를 촉진하고, 글로벌 반도체 공급망의 효율성과 지속가능성을 높이는 방향으로 기술 경쟁력을 확대할 계획이다.

김정웅 서플러스글로벌 대표는 "반도체 장비 업사이클링은 단순히 중고 장비를 다시 사용하는 것이 아니라 장비의 상태를 정확히 진단하고 성능과 활용 가치를 높여 산업 생태계 안에서 다시 쓰이게 하는 과정"이라고 말했다. 이어 "확보한 ALD 및 AI 기반 장비 진단 기술을 식각 공정 장비 영역으로 확장 적용하고 있으며, 주요 레거시 공정 장비 전반으로 지능화 솔루션을 확대하는 것을 목표로 하고 있다"고 밝혔다.

서플러스글로벌은 2000년 설립된 글로벌 반도체 장비·부품 유통 전문 기업이다. 한국 본사를 중심으로 미국 산호세, 중국 상하이, 대만 신주, 일본 도쿄, 독일 뮌헨, 싱가포르에 글로벌 거점을 운영하고 있다. 세미마켓을 통해 레거시 반도체 자산 거래의 디지털 전환을 추진하고 있다.