국내 기술로 만든 '초순수'…반도체 공정에 첫 공급

[이데일리 이영민 기자] 국내 기술로 생산한 초순수(Ultra Pure Water)가 처음으로 실제 반도체 제조공정에 투입된다.

초순수 이온 제거 및 고도화 공정 실증 설비(사진=기후부)

기후에너지환경부는 19일 경북 SK실트론 구미사업장에서 ‘고순도 공업용수(초순수) 생산 국산화 기술개발 사업’ 성과물인 초순수 실증설비의 기술이전 협약식을 연다고 18일 밝혔다.

초순수는 물속 불순물을 극미량 수준까지 제거한 물로 반도체 표면의 오염물질을 세척하는 데 필수적으로 쓰이는 공정용수다. 수중의 이온물질 농도를 1ppt(1조분의 1) 이하, 용존산소 등 기체 농도를 1ppb(10억분의 1) 이하 수준으로 관리해야 한다. 반도체·디스플레이·이차전지·바이오 등 첨단산업 전반에 없어서는 안 될 기반 자원이지만 최고난도의 수처리 기술이 요구되는 탓에 그동안 일본·미국 등 해외 기업이 생산 기술을 주도해왔다.

정부는 기술 의존도를 낮추기 위해 2021년부터 초순수 생산기술 국산화 사업을 추진했다. 설계·시공·운영 전 과정에 국내 기술이 적용된 초순수 실증설비를 SK실트론 구미사업장에 설치해 성능을 실증했다. 유기물 제거(자외선 산화장치)오 용존산소 제거(탈기막), 이온제거 및 수질 고도화(이온교환수지)를 포함한 핵심 공정에 국내기업이 개발한 장치와 소재를 적용해서 장기간 운영 실적을 쌓았다.

기술이전으로 생산된 초순수는 SK실트론 구미사업장의 반도체용 웨이퍼 생산공정에 공급된다. 국내 설계 기술로 만든 초순수가 실제 반도체 제조공정에 투입되는 것은 이번이 처음이다. 국내 기업의 현장 적용 실적 확보와 함께 초순수 시장 진입의 발판을 마련했다는 점에서 의미가 크다고 기후부는 평가했다.

아울러 정부는 기후위기로 인한 공업용수 부족에 선제적으로 대응하기 위해 초순수 생산 전 공정의 국산화와 하수 재이용 기반의 초순수 생산을 통한 원수 다변화 기술개발도 함께 추진 중이다.

김지영 기후부 물이용정책관은 “이번 기술이전은 초순수 기술의 국산화를 넘어 실제 산업현장 적용으로 이어진 중요한 성과”라며 “반도체 등 첨단산업의 대규모 투자가 초순수 등 국내 물산업 발전으로 이어질 것”이라고 말했다.