미국, ASML DUV 대중 수출까지 막나 ‘MATCH Act’ 추진

EUV 막힌 뒤 DUV가 중국 공정의 핵심 장비… 화웨이·SMIC·CXMT·YMTC 직격

미국 의회가 ASML의 DUV(심자외선) 노광 장비를 중국에 팔거나 유지보수(servicing)하는 길까지 막는 법안을 추진한다. 외교위원회 발표에 따르면 ‘MATCH Act’가 논의 테이블에 올라왔고, 법안은 DUV 침지(immersion) 장비를 ‘초크포인트(병목) 장비’로 규정해 수출 통제를 강화한다. EUV가 사실상 막힌 상태에서 DUV까지 묶이면 중국 반도체 공급망은 타격이 불가피하다. 

This bipartisan legislation modernizes U.S. export controls to ensure adversaries cannot buy 'chokepoint' semiconductor manufacturing equipment (SME) technology from the United States or our partners that they cannot build themselves. By promoting harmonization of export controls among allies and closing servicing and entity-specific loopholes, the MATCH Act preserves the U.S. technological lead in the AI competition with China. - U.S. Senator Jim Risch

이번 법안이 DUV를 겨냥하는 이유는 현 시점 중국 파운드리가 ‘현실적으로’ 쓸 수 있는 선단 장비가 DUV이기 때문이다. SMIC는 ASML DUV 장비를 바탕으로 N+1/N+2의 7nm급 공정(멀티 패터닝 기반)을 구현한다. 메모리도 마찬가지다. CXMT와 YMTC는 DUV 장비로 공정 미세화와 집적도 확장을 진행한다. 화웨이·SMIC·화홍 같은 파운드리뿐 아니라 DRAM·낸드 업체까지 DUV와 연관있다. 

MATCH Act는 ‘판매(sale)’뿐 아니라 ‘유지보수(servicing)’까지 묶여있다. 장비가 들어가도 유지보수가 끊기면 가동률이 떨어지고, 신규 증설도 속도가 늦어진다. 법안은 DUV 침지 장비가 중국 방위산업에 쓰인다는 논리를 내세우고, 주요 수요처에 ‘엔터티 리스트급’ 제약을 적용하는 방향도 담고있다. 아직 법제화 단계는 아니지만, 의회가 DUV를 정면으로 겨냥했다는 점 자체가 부담이다.

ASML 입장에서도 타격이 작지 않다. 최근 ASML 매출에서 중국 비중이 약 20%에 달했고, 사실상 DUV 판매가 대부분을 차지한다. DUV가 막히면 ASML은 대형 시장 하나를 잃는다. 중국은 반대로 장비 수급이 끊기며 선단 공정과 메모리 증설이 동시에 막힐 수 있다.

중국은 장비 국산화를 밀고 있지만, 실제로 자력 장비가 의미 있게 커버하는 구간은 28nm 같은 이미 성숙한 공정에 불과하다. 그점에서 7nm 공정은 DUV 멀티 패터닝에 크게 의존해 왔고, 그 중심에 ASML 장비가 핵심이다. EUV에 이어 DUV까지 막히면, 중국 반도체 산업은 ‘선단 공정 확대’는 커녕 ‘현상 유지’ 자체도 기약하기 힘들 수 있다.