세메스가 차세다 반도체 검사장비 '프로브 스테이션' 양산 5000호기 출하식을 8일 진행했다.
2003년 첫 양산 이래 22년 만에 5000호기 출하를 달성한 성과다.
프로브 스테이션(설비명 SEMPRO)은 반도체 EDS 공정에서 웨이퍼에 형성된 각 칩(Die)들을 양품과 불량으로 선별하는 전기적 특성을 검사하기 위해 테스터와 연결되는 자동화 설비다. 고대역폭메모리(HBM) 테스트 발열 제어 및 고하중 컨택 정밀도 향상을 기반으로 EDS 공정의 생산 효율화에 기여하고 있다.
현재 무인 자동화 기능을 도입해 스마트 팩토리형 장비를 생산하고 있다.
앞서 2018년에는 세계 3대 디자인상으로 꼽히는 레드닷 산업디자인 컨셉 부문 최우수상 '베스트 오브 베스트' 상을 수상하며 디자인 우수성도 인정받았다.
최병갑 세메스 팀장은 "이번 5000호기 출하는 장비의 품질과 신뢰성을 인정받은 결과"라며 "고성능 메모리의 수요 증가로 반도체 웨이퍼 테스트 공정의 난이도가 높아지는 가운데 반도체 장비 시장에서 경쟁사 대비 기술 우위를 인정받고 있다는 신호"라고 전했다.
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