SK하이닉스, 반도체 생산 첨단 EUV 노광장비 선점. ASML과 12조원 규모 구매 계약

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SK하이닉스, 반도체 생산 첨단 EUV 노광장비 선점. ASML과 12조원 규모 구매 계약

M투데이 2026-03-24 15:23:41 신고

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ASML의 최신 EUV 노광장비
ASML의 최신 EUV 노광장비

 

[엠투데이 이상원기자] SK하이닉스가 네덜란드 ASML과 12조 원 규모의 반도체 생산 EUV 노광장비 구매 계약을 체결했다고 24일 공시를 통해 밝혔다.

SK하이닉스는 이날 차세대 공정 양산 대응을 위해 ASML코리아와 약 12조 원 규모의 반도체 제조공정 필수 장비인 첨단 EUV 스캐너 구매 계약을 맺었다고 밝혔다.

SK하이닉스는 해당 장비를 2027년 12월 31일까지 2년에 걸쳐 인도받을 예정이다. ASML이 지난해 말부터 공급을 시작한 최첨단 EUV 노광장비의 대당 가격이 4-5천억 원에 달하는 점을 감안하면 이번 SK하이닉스의 장비 공급 대수는 약 30대에 이른다.

ASML에 최근 현재의 반도체 수주정보와 향후 수요 예측을 바탕으로 내놓은 보고서에 따르면 2027년에만 EUV 리소그래피 장비 56대를 공급될 예정이며, 이 가운데 SK하이닉스에 20대, 삼성전자에 7대가 각각 공급될 예정이다.

이를 기준으로 보면 SK하이닉스는 올해 대략 10대의 EUV 노광장비를 도입할 전망이다.

SK하이닉스는 AI 메모리인 HBM(고대역폭메모리)과 차세대 D램을 생산할 용인 클러스터 1기 팹을 당초 2027년 5월 준공을 목표에서 내년 2월로 3개월 가량 앞당겼다. 이 공장의 D램 웨이퍼 생산 능력은 월 20만 장 규모다.

SK하이닉스는 이와 비슷한 규모의 공장 3곳도 완공 목표를 앞당기는 방안을 검토하고 있다.이 때문에 반도체 생산의 필수장비인 EUV 노광장비 확보에도 심혈을 기울이고 있다.

ASML의 EUV 노광장비는 연간 생산량이 50대 전후에 불과, 인텔과 TSMC, 삼성전자, SK하이닉스 등 주요 반도체 제조업체들이 해마다 치열한 확보 경쟁을 벌이고 있다.

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