(부산=연합뉴스) 조정호 기자 = 부산대학교가 부산 전력반도체 거점 기업인 '아이큐랩'에 탄화규소(SiC) 전력조사 핵심 기술을 이전하며 지역 반도체 산업 생태계 강화에 나섰다.
부산대 산학협력단은 지난 29일 오후 부산 기장군 아이큐랩 본사에서 기술이전 협약을 체결했다고 30일 밝혔다.
이번에 이전된 기술은 부산대 유기소재시스템공학과 김효정 교수와 첨단융합학부 서지연 교수가 라이즈(RISE) 사업 산학공동과제로 개발한 SiC 전력소자 공정 최적화 분석 기술 2건이다.
SiC 전력반도체 제조 과정에서는 소자의 표면과 박막 상태를 정밀 분석해 성능과 수율을 극대화할 수 있는 최적의 공정 조건을 도출하는 것이 핵심이다.
이번 성과는 부산대 나노반도체공정·장비계약학과 창의융합센터에 구축된 첨단 연구 인프라를 적극 활용한 사례로 꼽힌다.
강정은 부산대 산학협력단장은 "지역 대표 반도체 기업과 협력해 첨단산업 분야 산학협력이 활성화되기를 기대한다"고 밝혔다.
ccho@yna.co.kr
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