중국, 전 세계 유일 ASML 공급하는 반도체 '극자외선 노광장비' 시제품 극비 개발

ASML 직원들이  반도체 EUV 리소그래피 장비 설치를 진행하고 있다.

 

[엠투데이 이상원기자] 중국이 전 세계에서 유일하게 네덜란드 ASML이 공급하는 반도체 극자외선 노광장비 시제품을 극비리에 개발했다.

홍콩지 사우스차이나모닝포스트는 올해 초 중국 선전에 있는 한 연구소 개발팀이 미국이 수년 간 막으려고 애써 온 반도체 EUV 리소그래피 장비 시제품 제작을 완료했다고 보도했다.

업계에서는 중국이 AI(인공지능) 및 고성능컴퓨터 시스템용 첨단 반도체 생산에 필수장비인 극자외선(EUV) 리소그래피 장비를 자체 개발했다는 ​​보도는 미국과의 기술 경쟁에서 중국에 "엄청난 동력을 제공하고 세계 반도체업체의 판도가 뒤바뀌는 계기가 될 수 있을 것으로 분석하고 있다.

로이터 통신은 중국이 제작한 극자외선(EUV) 리소그래피 장비는 세계 최고이자 유일의 EUV 리소그래피 장비 공급업체인 네덜란드 ASML 출신의 전 엔지니어 팀이 제작했다고 전했다.

로이터는 이들은 중고시장에서 구한 ASML의 구형 장비 부품을 사용해 ASML의 EUV 장비를 역설계했다고 프로젝트 관계자 두 명을 인용해 전했다.

나틱시스 기업투자은행의 아시아태평양 지역 수석 이코노미스트 관계자는 만약 중국이 EUV 리소그래피 상용화에 성공한다면, 중국은 미국에 대한 지정학적 영향력을 크게 확대할 수 있을 것"이라며, "EUV 기술 습득의 최우선 과제는 국방 분야에서의 활용이 될 것"이라고 말했다.