[엠투데이 최태인 기자] 세계 최대 파운드리(반도체 위탁생산) 기업 대만 TSMC가 최첨단 2나노 반도체 생산에서 중국 장비를 배제할 계획인 것으로 알려졌다.
지난 25일(현지시간) 니혼게이자신문은 복수 소식통을 인용해 TSMC가 연내 양산에 들어갈 2nm(나노미터·1nm는 10억분의 1nm) 반도체 생산라인 라인에서 중국산 제조 장비를 제외하기로 했다고 전했다.
이번 조치는 중국 장비에 대한 미국의 규제를 감안한 조치다. 미국에선 지난해 6월 반도체법에 따라 지원을 받은 공장에서 중국 장비 사용을 금지하는 법안이 발의됐다.
TSMC는 대만 북부 신주에서 2나노 반도체 양산을 시작한 후 이후 가오슝에서도 생산할 계획이다. 또한 현재 미국 애리조나 주에 건설 중인 반도체 공장에서도 2나노 반도체 양산을 목표로 하고 있어 자칫 중국 장비로 인해 생산에 차질이 발생할 수 있다.
TSMC는 그간 반도체 생산 공정에서 중국 중미반도체설비(AMEC)가 제작한 회로 형성용 에칭 장비와 중국 기업 산하의 미국 맷슨 테크놀로지의 장비 등을 사용해 왔다. 하지만 이미 양산 중인 3나노 제품 라인에서도 약 1년 전부터 중국 장비 배제를 검토했으며, 시간과 비용 문제로 보류했던 것으로 알려졌다.
또 TSMC는 장비뿐 아니라, 반도체 소재 분야에서도 중국산 사용 축소를 검토하고 있는 것으로 전해졌다. 이는 미국의 정책 변화와 밀접한 연관이 있다는 분석이 나온다. 지난해 6월 민주당 마크 켈리 상원의원 등은 미 정부 보조금을 받은 반도체 공장에서는 중국산 장비 사용을 금지하는 법안을 제출했다.
이에 따라 중국산 반도체 제조 장비가 직접적인 규제 대상이 될 가능성이 거론된다. TSMC는 이미 미 정부 보조금을 지원받아 애리조나주에 최첨단 반도체 공장을 건설 중이며 이곳에서의 2나노 양산도 목표로 있다.
한편, 미국 도널드 트럼프 행정부는 지난 22일 미국 내 반도체 생산 능력 강화를 위해 인텔에 약 89억달러를 지원하고, 지분 9.9%를 확보했다. 미 정부가 TSMC 지분 인수도 검토했다는 보도도 있었지만, 월스트리트저널(WSJ)은 TSMC는 제외한다고 전한 바 있다.
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