수정 진동자 기반 반도체 인라인용 원자 현미경 개발 기업 멀티스케일인스트루먼트가 Seed 투자를 유치했다고 밝혔다.
이번 투자에는 한국투자액셀러레이터, 블루포인트파트너스, 삼익매츠벤처스가 신규 투자자로 참여했다. 멀티스케일인스트루먼트는 이번 투자금을 바탕으로 비접촉·비파괴 기반의 안정적인 정밀 측정 기술을 한층 고도화하고, 멀티 헤드 원자 현미경 설계를 통해 웨이퍼의 이미징 속도를 획기적으로 향상시킬 계획이다.
멀티스케일인스트루먼트는 서울대학교 물리학과 제원호 교수가 재직 중 창업한 기업으로, 제 대표는 수정 진동자 기반 정밀 측정 기술 분야에서 20년 이상의 연구 경력을 보유한 세계적 권위자다. ‘Seeing the invisible by touching’을 기반으로 한 기존 캔틸레버 방식 원자 현미경이 가진 한계로 지적돼 온 비접촉·비파괴 측정 문제를 수정 진동자의 압전 효과를 활용하여 근본적으로 해결할 수 있다는 점에서 주목을 받고 있다.
비접촉·비파괴 방식으로 반도체 웨이퍼의 공정 단계에서 안정적인 정밀 계측을 실현함과 동시에 이미징 속도까지 확보할 수 있다면, 이는 차세대 초미세 고집적 반도체 공정에서 필수적인 인라인용 정밀 계측 및 검사의 자동화를 가능하게 하여 반도체 산업 전반에 걸쳐 상당한 파급 효과를 가져올 것으로 기대된다.
제원호 대표는 “이번 투자 유치를 통해 기술 고도화와 제품 상용화에 더욱 속도를 낼 수 있게 됐다. ‘Seeing the invisible by feeling’을 기치로 수정 진동자 기반 원자 현미경이 차세대 반도체 산업의 핵심 공정 과정의 정밀 계측 분야에서 새로운 솔루션 및 표준을 제시할 수 있도록 최선을 다하겠다”고 말했다.
이번 Seed 라운드 최대 투자자인 한국투자액셀러레이터 관계자는 “AI 시대의 본격 진입에 따라 데이터 처리량은 꾸준히 증가할 것이며, 이에 따라 반도체 산업 또한 동반 성장할 것이다. 반도체 정밀 계측의 당면 과제인 원자 현미경의 인라인 공정 과정 도입을 멀티스케일인스트루먼트의 수정 진동자 기술을 통해 효과적으로 해결할 수 있을 것으로 기대하여 투자를 결정했다“고 말했다.
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