테라뷰, 한국·대만에서 반도체 검사 핵심기술 특허 등록

[이데일리 신하연 기자] 테라헤르츠 기술 및 솔루션 기업 테라뷰는 최근 한국과 대만에서 반도체 패키징 검사 시스템(이하 EOTPR)의 핵심 기술에 대한 특허를 등록했다고 1일 밝혔다.

테라뷰의 ‘EOTPR(Electro-Optical Terahertz Pulsed Reflectometry)’은 테라헤르츠 반사파를 이용해 비파괴 방식으로 반도체 패키지 내부의 결함을 검사하는 시스템이다. 높은 정밀도로 결함 위치를 파악할 수 있고, 전기적 검사(ATE)의 한계를 극복해 혁신적인 검사 솔루션 시스템으로 평가받고 있다. 이번 한국과 대만에서 등록한 특허는 EOTPR 시스템 내 포함된 기술에 관한 내용이다.

회사 관계자는 “이번 특허 등록으로 EOTPR의 독자적인 기술을 더욱 강력하게 보호할 수 있게 될 것”이라며, “AI, 머신러닝 등 고성장 산업에서 폭넓게 활용되고 있는 첨단 반도체 패키징 기술에 관련한 만큼 글로벌 시장에서 테라뷰의 독보적인 기술력을 입증하는 중요한 이정표가 될 것”이라고 전했다.

이번 한국에서 등록된 특허는 테라뷰의 EOTPR 개별 칩 측정용 프로브(탐침)에 관한 것으로, 테라헤르츠파를 반도체 칩의 내부 및 외부로 효과적으로 전달하는 기술이다. 이를 통해 고객사는 칩의 품질 및 불량 메커니즘에 대한 정확한 정보를 확보함으로써 생산 공정의 효율성을 높이고 수율을 극대화할 수 있다.

또한, 대만에서 등록된 EOTPR 다중 칩 측정 자동화 특허는 반도체 칩을 자동으로 접촉부에 연결할 수 있어 대량의 반도체 제조 공정에서의 검사 및 테스트 효율성을 더욱 향상시킬 것으로 기대된다.

지난 2023년 엔비디아가 반도체 산업 연례 컨퍼런스인 ‘ISTFA 2023’에서 발표한 내용에 따르면, 테라뷰의 EOTPR 시스템에 대해 ‘첨단 반도체 칩용 메모리 및 GPU 등 주요 부품의 생산에 있어 결함 검출의 정확도가 우수하다’며, ‘반도체 칩 검사에서 상당히 중요한 역할을 하고 있다’고 밝혔다. 엔비디아는 주요 파트너사에 EOTPR 사용을 권장하고 있으며, 한국·대만 내 파트너사들이 해당 시스템을 도입하면서 각 국가의 시장 영향력이 확대될 것으로 더욱 주목받고 있다.

돈 아논 테라뷰 대표이사는 “한국과 대만이 EOTPR 시스템의 핵심 거점이 될 것”이라며 “특히 한국 내 고객 지원 강화를 위해 상업적·기술적 기반을 지속적으로 확충할 계획”이라고 밝혔다.

한편 테라뷰는 지난해 11월 두 개의 기술 평가 기관으로부터 각각 A등급을 획득하고, 100억원 규모의 상장전 지분투자(Pre-IPO) 유치를 완료했다. 이를 기반으로 2025년 상반기 내 상장예비심사를 청구하며, 연내 코스닥 시장에 진입할 예정이다.

테라뷰는 이번 상장을 통해 한국을 포함한 아시아 시장의 성장 기반을 강화하고, 한국 내 제조 파트너십을 확대하여 생산 역량을 한층 더 강화할 예정이다.