재료연, 투명한 내플라즈마성 고엔트로피 세라믹 세계 최초 개발

세라믹 소재의 플라즈마 식각 평가 모식도. [사진=재료연]

[이뉴스투데이 고선호 기자] 한국재료연구원(KIMS)은 나노재료연구본부 마호진 박사 연구팀이 부산대학교 이정우 교수 연구팀과 공동연구를 통해 투명한 내플라즈마성 고엔트로피 세라믹 신(新)조성과 공정 기술을 세계 최초로 개발하는 데 성공했다고 15일 밝혔다.

연구팀은 기존에 주로 활용되는 세라믹 소재인 이트리아(Y2O3), 알루미나(Al2O3), 야그(YAG) 조성의 한계에서 벗어나 새로운 고엔트로피 세라믹 조성을 설계하고, 무기공 치밀체(밀도가 높은 고체 상태의 재료) 소결 공정 기술을 통해 99.9% 밀도의 투명한 세라믹을 개발했다.

마 선임연구원은 “반도체 공정 중 플라즈마 식각 공정은 미국과 일본의 소재․부품․장비가 90% 이상을 장악하고 있어 국내 산업계에서 대외의존도가 심각한 상황”이라며 “이번 연구성과는 지금까지 연구된 적 없는 고엔트로피 세라믹을 개발해 세계 최고 수준의 내플라즈마성 소재를 국내 독자기술로 개발한 대표적 사례임과 동시에 소재 자립화를 통해 부품 국산화를 이루는 초석이 될 것으로 기대한다”고 말했다.