이재용 회장 귀국…네덜란드 ASML 반도체 협력 성과

▲ 이재용 삼성전자 회장은 네덜란드 출장에서 반도체 장비 업체 ASML과 업무협약을 체결하는 등 성과를 거뒀다. 사진은 15일 오전 서울 강서구 서울김포비즈니스항공센터를 통해 귀국한 이재용 회장. [사진=뉴시스]

 

이재용 삼선전장 회장이 네덜란드 출장에서 귀국하며 "이번 순방은 반도체가 거의 90%였다"고 말했다.

이 회장은 15일 서울김포비즈니스항공센터(SGBAC)에서 윤석열 대통령의 네덜란드 국빈방문 일정을 동행하고 귀국했다. 삼성전자는 네덜란드 출장을 통해 반도체 장비 업체 ASML과 1조원 규모의 차세대 반도체 제조 기술 R&D(연구개발)센터를 국내에 설립하는 업무협약(MOU)을 체결하는 성과를 거뒀다.

ASML은 전 세계에서 유일하게 극자외선(EUV) 노광장비를 생산하는 기업이다. EUV 1대당 약 2000억원에 달한다. 그러나 연간 약 50대만 생산해 공급이 수요를 따라가지 못하는 귀한 장비다. 7나노미터(㎚·1㎚=10억분의 1m) 이하의 초미세 공정을 구현하려면 EUV 장비는 필수다. 이 때문에 ASML과의 협력 관계는 현재 반도체 업계에서 가장 핵심이다.

ASML과 삼성전자가 공동 설립하는 R&D센터는 차세대 EUV(노광장비)를 기반으로 초미세 제조 공정을 개발하는 역할을 맡는다. 노광장비는 반도체 웨이퍼(원판)에 회로를 새기는 장비로, 얼마나 세밀하게 그릴 수 있는지가 핵심이다.

이 회장은 ASML 외에도 차량 반도체 회사인 NXP 등 현지 주요 반도체 기업 최고경영자(CEO)들과도 만난 것으로 알려졌다.

이날 귀국길에는 경계현 삼성전자 DS(반도체)부문 대표이사(사장)도 동행했다. 경 사장은 "여러 툴(장비)이 있지만 EUV가 가장 중요한 툴이기 때문에 전체적인 반도체 공급망 입장에서 굉장히 든든한 우군을 확보했다"고 말했다.

ASML과의 전략적 협업으로 대만 파운드리(반도체 위탁생산) 업계 1위인 TSMC 추격에도 속도가 붙을 것이란 전망이다.

경 사장은 "경기도 동탄에 공동연구소를 짓고 하이 NA EUV 노광장비를 들여와 ASML 엔지니어와 삼성의 엔지니어가 함께 기술개발하는 게 주목적"이라고 했다.

이어 "하이 NA EUV에 대한 기술적 우선권을 삼성전자가 갖게 될 것 같고 장기적으로 D램 등에서 하이 NA EUV를 잘 쓸 수 있는 계기를 만들지 않았나 생각한다"며 협약 성과에 대한 소회도 밝혔다.

끝으로 '경쟁사보다 EUV를 빨리 들여올 수 있게 되나'라는 질문엔 "그런 관점보다는 공동 연구를 통해 하이 NA EUV를 더 잘 쓸 수 있는 협력관계를 맺어가는 게 더욱 중요하다"고 말했다.