티이엠씨, 삼성전자·SK하이닉스에 '반도체 양산 필수' 재활용 네온가스 동시 수주 '잭팟'

반도체 특수가스 전문기업 티이엠씨(425040)가 국내 반도체 양대 축인 삼성전자와 SK하이닉스에 리사이클링(재활용) 네온(Ne)가스를 공급하는 본계약을 잇달아 체결한 것으로 확인됐다.

◆ 지정학적 리스크와 노광 미세화…"재활용 네온가스는 필수" 네온은 반도체 제조 공정에서 엑시머 레이저(Excimer Laser)의 핵심 구성 가스로 사용된다.

노광 공정 후 배출되는 저순도 혼합 가스를 수집 탱크에 포집한 뒤, 티이엠씨의 독자적인 극저온 미세 분리 및 불순물 제거 공정을 거쳐 신규 가스(Virgin Gas)와 동등한 순도 99.999%(5N)의 반도체용 네온으로 재탄생시키는 프로세스다.