UNIST 산화물 반도체 결함 성질 연구···"특정 원자 간 거리가 좌우"
울산과학기술원(UNIST) 연구진이 산화물 반도체의 성능을 좌우하는 산소 빈자리 결함의 작동 원리를 규명했다.
UNIST는 정창욱 반도체소재·부품대학원 교수팀이 산화물 반도체의 산소 빈자리 결함의 성질을 결정하는 것은 반도체 물질 전체에 원자들이 얼마나 촘촘하게 들어차 있는지가 아니라, 결함 주변의 금속 원자 사이 거리라는 사실을 이론 계산을 통해 증명했다고 19일 밝혔다.
이번 연구에 따르면, 전자가 빈자리 주변에 갇히거나 박막 전체로 퍼지는 상태는 산소 빈자리 주변의 원자 배열에 따라 달라진다.
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