표준연, 국산 반도체 공정용 가스 '품질평가 체계' 구축
2019년 일본이 반도체 주요 소재의 수출 규제로 무역보복을 단행했을 때 불소 등의 공급처 확보가 어려웠던 경험에서 반도체 소재의 국산화와 공급망 다변화에 노력한 성과다.
KRISS는 2020년 불화수소 품질평가 서비스를 시작한 이래, 단계적으로 대상을 늘려 최근 식각·세정·증착용 고순도 가스 15종에 대한 순도분석 기반을 구축했다고 7일 밝혔다.
이로써 가스별 표준 시험절차를 마련해 15종 전 품목에 대한 시험분석 서비스 체계를 완비했다.
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