표준연, 반도체 공정용 가스 품질평가 체계 구축

반도체 주요 공정에 필요한 가스의 품질을 국내에서 객관적으로 평가할 수 있는 체계가 구축됐다.

반도체 공정용 고순도 가스 순도분석 기술을 개발한 한국표준과학연구원 연구진.(사진=한국표준과학연구원) 2019년 일본 수출규제와 글로벌 공급망 불안 등을 거치며 반도체 소재의 국산화와 공급망 다변화 필요성이 대두됐다.

표준연은 지난 2020년 불화수소 품질평가 서비스를 시작한 이래, 단계적으로 대상을 늘려 식각·세정·증착용 고순도 가스 15종에 대한 순도분석 기반을 구축했고, 가스별 표준 시험절차를 마련해 15종 전 품목에 대한 시험분석 서비스 체계를 갖췄다.