EUV 대체장비 양산…中 반도체 자립속도
중국이 자체 개발한 이머전(Immersion·침지) 방식 심자외선(DUV) 노광장비 생산에 돌입한 것으로 알려졌다.
미국의 대중 수출 규제로 최첨단 극자외선(EUV) 노광장비 확보가 막힌 만큼 중국이 이를 우회해 반도체 자립의 신호탄을 쏘았다는 평가가 나온다.
업계에서는 중국산 자체 노광장비가 연구개발(R&D)을 넘어 실제 생산 단계까지 나아갔다는 점에서 의미가 크다는 분석이 많다.
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