"美 상무, ASML에 EUV 중국 반입 우려 제기"
미국 정부가 네덜란드 반도체 장비업체 ASML의 최첨단 극자외선(EUV) 노광장비가 수출 규제를 어기고 중국에 반입됐을 가능성을 의심하고 있다고 블룸버그 통신이 19일 보도했다.
하워드 러트닉 미국 상무부 장관은 최근 일련의 회의에서 ASML 고위 임원들에게 EUV 노광장비 1대가 중국으로 유입됐을 수 있다는 우려를 직접 전달했다.
미국 정부 고위 관리들은 ASML이 EUV 노광장비 부품과 이송 장비를 중국에 수출했다는 증거를 갖고 있다고 주장했다.
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