DGIST가 마이크로렌즈 기반 초고해상도 광 도핑 기술을 개발했다.
DGIST는 권혁준 전기전자컴퓨터공학과 교수 연구팀이 빛을 이용해 2차원(2D) 반도체의 전기적 성질을 정밀하게 제어할 수 있는 새로운 광 도핑(optical doping) 기술을 개발했다고 20일 밝혔다.
이번 연구는 차세대 초소형·고집적 반도체 구현에 필요한 핵심 공정 D 향후 2D 반도체 기반 CMOS 및 3차원 반도체 소자 개발에 기여할 전망이다.
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