국내 기술로 만든 '초순수'…반도체 공정에 첫 공급
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국내 기술로 만든 '초순수'…반도체 공정에 첫 공급

국내 기술로 생산한 초순수(Ultra Pure Water)가 처음으로 실제 반도체 제조공정에 투입된다.

초순수 이온 제거 및 고도화 공정 실증 설비(사진=기후부) 기후에너지환경부는 19일 경북 SK실트론 구미사업장에서 ‘고순도 공업용수(초순수) 생산 국산화 기술개발 사업’ 성과물인 초순수 실증설비의 기술이전 협약식을 연다고 18일 밝혔다.

국내 설계 기술로 만든 초순수가 실제 반도체 제조공정에 투입되는 것은 이번이 처음이다.

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