EUV 막힌 뒤 DUV가 중국 공정의 핵심 장비… 화웨이·SMIC·CXMT·YMTC 직격.
미국 의회가 ASML의 DUV(심자외선) 노광 장비를 중국에 팔거나 유지보수(servicing)하는 길까지 막는 법안을 추진한다.
이번 법안이 DUV를 겨냥하는 이유는 현 시점 중국 파운드리가 ‘현실적으로’ 쓸 수 있는 선단 장비가 DUV이기 때문이다.
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