한국원자력연구원, 진공펌프 핵심기술 이전…반도체 장비 국산화 기대

한국원자력연구원이 반도체·디스플레이 공정에 활용되는 진공펌프 핵심 기술을 국내 기업에 이전했다.

류재경(왼쪽부터) 벡스코 대표이사, 임인철 한국원자력연구원 부원장, 임상순 기술보증기금 대전기술혁신센터장이 한국원자력연구원-㈜벡스코 기술실시계약 체결식에서 기념사진을 촬영하고 있다.(사진=한국원자력연구원) 원자력연은 고효율 ‘가압·진공 유체이송 시스템’ 기술을 벡스코에 이전하는 기술실시 계약을 체결했다고 5일 밝혔다.

이번에 이전된 기술은 로터리 피스톤 방식의 유체이송 시스템으로, 하나의 장치에서 유체 흡입·가압·이송·진공 형성을 동시에 구현할 수 있는 것이 특징이다.