ETRI, 반도체 청정 '클린룸' 없어도 대규모로 전자피부 만든다
한국전자통신연구원(ETRI)은 반도체 청정 공정 시설인 '클린룸'이 없어도 넓은 면적의 전자피부를 제작할 수 있는 기술을 개발했다고 24일 밝혔다.
전자피부는 사람 피부처럼 압력이나 접촉을 감지하는 얇고 유연한 센서로, 지능형 로봇의 정밀한 촉각 구현에 활용될 핵심 기술이다.
기존 유연 전자 센서는 마스크 공정과 진공 증착, 식각 등 반도체 제조 공정을 거쳐야 했기 때문에 비싼 가격의 클린룸 설비가 필수적이라서 제작 과정이 복잡하고 비용이 많이 들었다.
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