급기야 ASML은 ‘장비 업그레이드’라는 해법을 대안으로 내세웠다.
EUV 노광 장비의 심장부인 광원(light source) 출력을 600W에서 1,000W(1kW)로 끌어올려, 오는 2030년까지 생산량을 50% 늘리겠다는 구상이다.
ASML 마이클 퍼비스는 현장에서 요구되는 조건을 만족하면서 1,000W를 안정적으로 구현 가능한 시스템이라고 강조했다.
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