테라뷰, ‘세미콘 코리아 2026’서 AI 칩·HBM 기업에 THz 검사시스템 소개…업계 관심↑

테라헤르츠 기술 및 솔루션 선도기업 테라뷰(950250)가 '세미콘 코리아 2026(SEMICON Korea 2026)'에서 소개한 THz 솔루션이 인공지능(AI) 칩·고대역폭메모리(HBM) 유관 기업 관계자들에게 관심을 받아, 비즈니스 미팅을 이어가고 있다고 12일 밝혔다.

테라뷰는 이번 전시회에서 1초에 1조 번 진동하는 전자기파인 테라헤르츠파(이하 THz)를 이용한 초정밀 검사시스템인 EOTPR(Electro-Optical Terahertz Pulse Reflectometry, EOTPR)이 기존 검사방식 대비 갖는 특장점 및 EOTPR 장비 도입 시 얻을 수 있는 다양한 기대효과에 대해 소개한다.

EOTPR은 기존 반도체 검사방식보다 높은 정밀도와 비파괴적 특성을 가져, 복잡한 적층 구조를 가진 반도체 패키징 내부의 미세 결함과 불량 여부를 효과적으로 잡아낼 수 있다.