[단독] 에프에스티, 삼성 2나노 '핵심 파트너' 낙점…美 테일러팹 전용 장비 수주
그간 일본 미쓰이화학이 독점해온 극자외선(EUV) 공정의 핵심 소재인 펠리클 장비를 삼성전자에 공급하는 계약을 따냈다.
수주 품목은 △EPMD(펠리클 자동 탈부착 장비) △EPIS(펠리클 막·프레임 이물질 검사 장비) △EPODIS(이송 용기 검사 장비) 등 총 3종이다.
이 장비들은 에프에스티가 삼성과 공동 개발 중인 차세대 소재 'CNT(탄소나노튜브) 펠리클'의 검사와 장착을 위해 설계된 전용 설비들이다.
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