신성이엔지, 습도·정전기 동시 제어 ‘EDM 이오나이저’ 공개
신성이엔지가 반도체 생산 인프라의 핵심인 정전기와 습도를 동시에 제어하는 신기술을 선보이며 글로벌 반도체 시장에서 기술 리더십을 공고히 한다.
신성이엔지는 챔버 내부에 제습 유닛과 이오나이저(Ionizer)를 일체화해 설치 공간을 최소화하고 정전기를 제거하는 ‘이오나이저를 구비한 이에프이엠챔버’ 특허를 공개했다고 16일 밝혔다.
신성이엔지가 개발한 이번 기술은 제습 유닛을 챔버 본체 내부 상측에 팬 필터 유닛(FFU)과 일체화해 외부 제습 장치와 배관을 제거했다.
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