그래핀스퀘어, 차세대반도체용 EUV 공정 핵심 ‘펠리클’에 그래핀 적용

국내 토종 벤처기업인 그래핀스퀘어와 단국대학교 신소재공학과 우윤성 교수 및 포스텍 공동연구팀이 차세대반도체 극자외선(EUV) 공정 핵심부품인 펠리클에 그래핀을 적용, 세계적인 학술지인 ‘어드밴스드 펑셔널 머티리얼스(Advanced Functional Materials)’에 성능 개선에 대한 확인 결과를 온라인 공개했다.

공동연구팀을 이끈 우윤성 단국대 교수(전 삼성종합기술원)는 “꿈의 신소재라 불리는 그래핀의 놀라운 특성들이 복합적으로 적용된 EUV펠리클이 상용화된다면 반도체 초미세공정의 글로벌 우위를 점할 수 있을 것”이라고 말했다.

한편, 서울대 화학부 교수이자 차세대융합기술원 그래핀연구센터장인 홍병희 대표이사가 2012년 창업한 그래핀스퀘어(주)는 화학기상증착법(CVD)을 이용한 대면적 그래핀의 상용화 분야를 선도하고 있는 토종 벤처기업이다.