연 4.7t치 비용 줄인 삼성 헬륨 재사용 시스템[only 이데일리]
삼성전자가 반도체 생산에 필수적인 헬륨(He)을 재사용하는 시스템을 개발했다.
8일 업계에 따르면 삼성전자는 반도체 생산 공정에서 생성된 고순도 배기 헬륨을 회수, 정제해 다시 사용할 수 있도록 하는 헬륨 재사용 시스템(HeRS)을 업계 최초로 개발했다.
헬륨 공급 차질이 발생할 때마다 가격이 급증해왔다는 측면에서 보면 반도체 생산 안정성에서는 큰 성과를 거둘 것으로 보인다.
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