팸텍, 반도체 웨이퍼 샘플 전처리 시스템 미국 특허 등록
CCM(콤팩트 카메라 모듈)·반도체 자동화 장비 전문기업 팸텍은 자동화된 반도체 웨이퍼 샘플 전처리 시스템에 대한 미국 특허 등록을 완료했다고 8일 밝혔다.
이번 특허 기술은 웨이퍼 다이싱부터 폴리싱까지의 시편 제작 과정을 자동화한 시스템이다.
특히 결함 좌표 기반 자동 시편 제작 기능을 통해 작업 편차를 줄이고, 공정 효율과 분석 품질을 높일 수 있다.
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