中, ASML 독점공급 첨단 반도체 ‘노광장비’ 뚫었다. 스테퍼 리소그래피 장치 출하

중국 상하이 칩온 마이크로일렉트로닉스 테크놀로지(Shanghai Chip-on Microelectronics Technology)가 자체 개발한 첫 번째 350nm 스테퍼 리소그래피 장비(AST6200)가 공장 검수를 통과, 공식적으로 고객 출하를 시작했다고 26일 발표했다.

스테퍼 리소그래피 장비는 반도체 웨이퍼에 포토마스크의 패턴을 정밀하게 전사하는 노광장비로, 반도체 회로 제작의 핵심 공정 중 하나다.

상하이 칩온의 AST6200 리소그래피 장비는 여전히 성능, 정밀도 등에서 ASML의 노광장비와는 비교불가지만 중국이 첨단 반도체 리소그래피 장비에서도 독자 생존력을 갖춰 나가고 있다는 점에서 업계의 주목을 끌고 있다.