원주 부론산단 반도체 소모품 실증센터 착공…테스트베드 구축
반도체 소모품 실증센터 착공식이 19일 원주 부론일반산업단지에서 열렸다.
실증센터는 실제 반도체 제조공정과 유사한 조건에서 세라믹 히터나 포커스 링, 쿼츠웨어 등 반도체 제조 과정에서 소모되는 부품의 성능과 품질을 검증하는 시설이다.
기존 센터들이 주로 시제품 분석 중심인 것과 달리 이번 실증센터는 반도체 소모품 시험 생산부터 성능 검증, 공정 안정성 검증까지 반도체 소모품 생산의 전 주기 산업생태계를 지원한다.
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