최첨단 노광장비가 뭐길래?...ASML과 미세 동맹 강화하는 삼성·SK [한양경제]
최첨단 반도체 제조에 반드시 필요한 미세 공정 전용 노광장비를 공급하는 네덜란드의 ASML이 한국에 거점을 만들며 주목을 끌고 있다.
ASML이 공급하는 노광장비는 반도체 공정에서 웨이퍼 위에 빛을 이용해 미세 회로 패턴을 새기는 장비다.
반도체 칩에 더 많은 트랜지스터를 집적해 성능을 높이기 위해서는 웨이퍼 위에 나노미터 수준의 회로 패턴을 세기는 미세패터닝 기술도 필요하다.
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