삼성전자·SK하이닉스가 ASML과 반도체 최선단 공정 기술력 강화에 나서는 계기가 될 것으로 기대된다.
ASML 화성캠퍼스는 삼성전자·SK하이닉스 등 국내 반도체 기업과 공정 협력과 기술 교류를 강화하고, 국내 소부장(소재·부품·장비) 생태계와 연계 체제를 구축하는 데 핵심적 역할을 수행하게 된다.
하이 NA EUV는 기존 EUV보다 해상도를 크게 향상시킨 차세대 노광 장비로 삼성전자는 올해 초, SK하이닉스는 지난 9월 도입한 바 있다.
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