디스플레이·반도체 검사장비 혁신 이끄는 ㈜유닉스엔지니어링 [경기도 혁신의 중심, 유망중소기업]

경기도를 거점으로 디스플레이 및 반도체 검사장비의 핵심 구성 요소인 미소 피치형 멀티 리니어 스테이지와 반도체 웨이퍼 로딩·언로딩용 EFEM 로봇 시스템을 주력 사업으로 하고 있다.

창업 초기 장비의 소형화·정밀화가 급격히 요구되던 시장 환경 속에서 ㈜유닉스엔지니어링은 ‘국산 기술로 더 작고 정밀한 장치를 만들겠다’는 목표로 연구개발에 착수했다.

회사는 디스플레이 검사장비의 핵심부인 미소피치형 멀티리니어 스테이지 시스템을 세계 최초로 개발해 유기발광다이오드(OLED) 전 공정에 적용했다.