일본의 대표적 반도체 장비 기업 '도쿄일렉트론(Tokyo Electron)'이 TSMC 등 주요 파트너사와의 협력을 강화하며, 1나노미터(1nm)급 차세대 반도체 기술 개발을 위한 대규모 연구개발(R&D) 센터를 신설했다.
이번 구마모토 신센터는 특히 '하이NA(High Numerical Aperture) EUV' 기술 개발을 위한 전용 연구 거점으로, 1nm 이하 초미세 공정 실현의 핵심 인프라로 자리매김할 전망이다.
TSMC의 차세대 1.6nm·1.4nm 공정 및 향후 1nm급 노드 개발에 필수적인 EUV 공정 장비 개발이 일본 내에서 가속화될 전망이다.
뉴스픽의 주요 문장 추출 기술을 사용하여 “M투데이” 기사 내용을 3줄로 요약한 결과입니다. 일부 누락된 내용이 있어 전반적인 이해를 위해서는 본문 전체 읽기를 권장합니다.