전기연, 반도체 초정밀 공정서 활용 가능한 펄스 전원 개발
한국전기연구원(KERI, 전기연)은 전기물리연구센터 장성록 박사팀이 반도체 초정밀 공정에서 활용될 수 있는 '바이어스용 맞춤형 펄스 전원(Tailored Pulse Power modulator for bias) 기술'을 개발했다고 15일 밝혔다.
연구팀은 까다롭고 복잡한 공정에서도 맞춤형으로 바이어스 전압을 줄 수 있는 펄스 전원에 주목했다.
연구팀은 향후 한국핵융합에너지연구원과 공동연구에 나서 실제 식각·세정 장비에 맞춤형 펄스 전원을 적용하는 등 기술 상용화를 추진해 나갈 계획이다.
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