SK하이닉스, 5천억짜리 양산용 'High NA EUV' 전격 도입. 인텔 이어 두 번째 생산라인 적용
SK하이닉스가 차세대 반도체 제조 핵심 장비인 'High NA EUV'를 도입했다.
High NA EUV는 기존 EUV 보다 더 큰 NA를 적용해 해상도를 크게 향상시킨 차세대 노광 장비로, 현존 가장 미세한 회로 패턴 구현이 가능하다.
대당 가격이 5천억 원에 달하는 것으로 알려진 이 장비는 현재 전 세계적으로 공급 물량이 10대도 채 안되는 것으로 알려져 있으며 이번 SK하이닉스가 도입한 것과 동일한 장비가 지난 7월 처음으로 인텔에 인도됐다.
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