한양대, 형광 분자 없이 나노 구조 구현…차세대 반도체 검사 기술 개발
한양대 화학과 김두리 교수 연구팀은 형광 분자 부착 없이 반도체 나노구조를 초고해상도로 구현할 수 있는 새로운 형광 이미징 기술 '인버티드 페인트(Inverted PAINT)'를 개발했다고 12일 밝혔다.
이를 통해 형광 분자 부착 없이도 약 10나노미터급 해상도로 표면의 정밀 구조를 구현할 수 있다.
김 교수는 "그동안 반도체 업계에서 주목받아 온 초고해상도 형광 현미경 기술을 실질적인 반도체 나노구조 검사에 적용 가능한 형태로 발전시킨 것이 이번 연구의 핵심"이라고 설명했다.
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