한양대 김두리 교수팀, 초고해상도 광학 현미경 기반의 반도체 검사 기술 개발

한양대학교 화학과 김두리 교수 연구팀이 형광 분자 부착 없이 반도체 나노구조를 초고해상도로 구현할 수 있는 새로운 형광 이미징 기술 ‘인버티드 페인트(Inverted PAINT)’를 개발했다고 12일 밝혔다.

해당 기술은 기존 광학 현미경의 해상도 한계를 넘어 수십 나노미터 이미지를 구현할 수 있어 2014년 노벨화학상을 수상했으나, 형광 분자를 시료에 직접 부착하고 복잡한 전처리가 필요해 산업 현장 적용에는 제약이 있었다.

김두리 교수는 “그동안 반도체 업계에서 주목받아 온 초고해상도 형광 현미경 기술을 실질적인 반도체 나노구조 검사에 적용 가능한 형태로 발전시킨 것이 이번 연구의 핵심”이라며, “특히 반도체 외의 불투명한 무기 재료에도 활용할 수 있어 초고해상도 형광 이미징 기술을 보다 범용적인 분석 도구로 확장시킬 수 있을 것”이라고 설명했다.