유니셈, 글로벌 메이저 파운드리사에 CO2 칠러 납품 임박…친환경화 선도

유니셈은 반도체 공정용 친환경 이산화탄소(Co2) 칠러 개발에 성공하고 글로벌 메이저 파운드리 회사에 데모 장비 납품을 앞두고 있다고 11일 밝혔다.

유니셈이 개발한 이산화탄소 칠러는 세계적으로 유해 냉매 사용을 금지하는 지구온난화지수(GWP) 규제가 강화되고 있는 추세에 부합하는 친환경장비다.

유니셈 관계자는 "반도체 산업은 초미세 공정화와 함께 제조 과정 속 친환경화가 중요한 과제로 부상하고 있다"며 "유니셈은 반도체 공정 장비 친환경화를 선도하고 선제적으로 대응해 세계적인 메이저 파운드리 회사에 데모 테스트 납품 및 세계 최초 이산화탄소 칠러 반도체 공정 도입을 달성했다"고 밝혔다.