한양대, 반도체 미세결함 관찰 초고해상도 광학 현미경 개발
한양대는 본교 화학과 김두리 교수 연구팀이 반도체 나노 결함을 초고해상도로 관찰할 수 있는 광학 이미징 기술을 개발했다고 30일 밝혔다.
이에 김 교수 연구팀은 반도체의 핵심 재료 중 하나인 실리카(SiO₂) 구조에 결함을 인위적으로 만들어 강한 발광 특성을 유도하는 방식의 이미징 기술을 개발했다.
김 교수는 "이번 연구는 광학 현미경의 해상도를 5배 이상 향상해 나노 수준의 구조까지 선명하게 관찰할 수 있는 기술적 돌파구"라고 설명했다.
뉴스픽의 주요 문장 추출 기술을 사용하여 “모두서치” 기사 내용을 3줄로 요약한 결과입니다. 일부 누락된 내용이 있어 전반적인 이해를 위해서는 본문 전체 읽기를 권장합니다.
