저스템, '반도체 수율 핵심' AI 기반 첨단 습도제어 솔루션 개발 완료…"글로벌 기업 공급"

저스템(417840)의 습도제어 장비 JFS(Jet Flow Straightener)가 인공지능(AI)의 날개를 달고 성능을 극대화한다.

반도체 습도제어 전문 장비회사인 저스템은 현재 글로벌 반도체 기업을 대상으로 공급 중인 2세대 습도제어 솔루션 JFS를 첨단 AI 기반의 정밀제어시스템으로 고도화하는 'AIP-JFS(AI Powerd- JFS)'를 개발했다고 11일 밝혔다 저스템이 개발한 'AIP-JFS(AI Powerd – JFS)'는 JFS의 습도제어 성능을 각 생산라인의 공정과 설비 등 환경에 최적화되도록 프로그래밍하고 AI가 기류흐름을 분석해 속도·강도를 제어함으로써 생산라인의 안정성을 극대화하는 것이 핵심이다.

우인근 저스템 연구소 이사는 "JFS가 AI 정밀제어시스템을 통해 성능을 더욱 극대화할 수 있게 됐다"며 "반도체 공정에서 습도제어의 안정성이 나날이 중요시되는 만큼 한 차원 높은 기술력으로 글로벌 반도체 기업에 JFS를 공급할 것"이라고 말했다.