서울대 반도체연구소, 엘오티베큠 고진공 펌프 기증받아

서울대학교 반도체공동연구소가 반도체 진공장비 전문기업 엘오티베큠(LOT Vacuum)으로부터 고진공 스크루 펌프 ‘HD1200’ 2대를 기증받고, 공정 장비 성능 고도화에 나선다.

(왼쪽부터) 서울대학교 반도체공동연구소 김재하 운영부장, 엘오티베큠 박현기 상무, 서울대학교 반도체공동연구소 이혁재 소장, 엘오티베큠 오흥식 회장, 이종호 전 과학기술정보통신부 장관(서울대학교 전기정보공학부 교수), 엘오티베큠 조대식 사장 서울대 반도체공동연구소는 이번 장비 도입을 계기로 공정 장비의 진공 품질을 대폭 향상시켜 미세 금속막의 재현성과 실험 데이터의 신뢰도를 높일 수 있을 것으로 기대하고 있다.

울대학교 반도체공동연구소가 엘오티베큠(LOT Vacuum)으로부터 기증받은 고진공 스크루 펌프 ‘HD1200’ 이혁재 소장은 “HD1200 도입으로 장비의 베이스 압력 안정성이 획기적으로 향상될 것”이라며 “향후 연구소 내 공정 장비의 진공 품질을 전반적으로 끌어올려 교육 및 연구 인프라를 고도화하겠다”고 밝혔다.