세계 EUV 노광장비 독점 공급 ASML, 중국 자체 개발에 초긴장

전 세계 반도체 EUV 노광장비를 독적 공급하고 있는 내덜란드 ASML이 중국이 오랫동안 반도체 리소그래피 장비를 개발해 왔다고 밝혔다.

그는 중국이 ASML의 EUV 노광장비 기술을 따라잡는데는 아직 갈 길이 멀지만, 미국의 규제가 중국이 돌파구를 마련하기 위한 노력을 촉구하고 있다며, 미국이 경쟁자를 견제하기보다는 기술 혁신에 초점을 맞춰야 한다고 지적했다.

이 장비는 평균 레이저 출력 70mW와 주파수 6kHz를 갖춘 이 기술은 상업적으로 이용 가능한 스펙트럼 순도를 달성하고 리소그래피 시스템의 구조를 크게 단순화, 에너지 소비와 비활성 가스에 대한 의존도를 줄인 것으로 알려졌다.