한양대 정재경 교수, '수직집적 가능 삼진로직소자' 개발
한양대는 융합전자공학부 정재경 교수팀이 기존 CMOS 반도체 공정 기술을 기반으로 하는 '수직 집적이 가능한 삼진 로직 소자 기술'을 개발했다고 4일 밝혔다.
이러한 한계를 극복하기 위해 정 교수 연구팀은 CMOS 공정 중 하나인 스퍼터링(Sputtering)을 활용했다.
정 교수는 "이번 연구는 기존 다치 로직에서 한계로 여겨졌던 고집적화 문제를 해결할 가능성을 제시한 데 의의가 있다"고 설명했다.
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