차세대 반도체 인라인용 원자 현미경 개발 기업 멀티스케일인스트루먼트, Seed 투자 유치

수정 진동자 기반 반도체 인라인용 원자 현미경 개발 기업 멀티스케일인스트루먼트가 Seed 투자를 유치했다고 밝혔다.

멀티스케일인스트루먼트는 이번 투자금을 바탕으로 비접촉·비파괴 기반의 안정적인 정밀 측정 기술을 한층 고도화하고, 멀티 헤드 원자 현미경 설계를 통해 웨이퍼의 이미징 속도를 획기적으로 향상시킬 계획이다.

반도체 정밀 계측의 당면 과제인 원자 현미경의 인라인 공정 과정 도입을 멀티스케일인스트루먼트의 수정 진동자 기술을 통해 효과적으로 해결할 수 있을 것으로 기대하여 투자를 결정했다“고 말했다..